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在不打开真空腔的前提下,怎么判断磁控溅射靶材有没有用完,有什么特殊现象?

来源:学生作业帮 编辑:拍题作业网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/06/09 00:38:29
在不打开真空腔的前提下,怎么判断磁控溅射靶材有没有用完,有什么特殊现象?
辉光或弧光变色.一些靶用完了会露出不锈钢底,放出的辉光肯定是不同颜色或形状的.